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7-1
在追求精度與微觀控制的半導(dǎo)體制造王國(guó)中,每一項(xiàng)工藝都如同精密的瑞士鐘表,容不得絲毫偏差。超聲波噴涂技術(shù),憑借其能產(chǎn)生極其均勻、微細(xì)液滴的能力,已成為光刻膠涂覆、薄膜沉積、晶圓封裝等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的寵兒。然而,這項(xiàng)優(yōu)雅技術(shù)的背后,潛藏著一個(gè)核心挑戰(zhàn):如何對(duì)微量噴涂液體實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)、直接、高精度的質(zhì)量流量控制?這正是層流壓差式液體質(zhì)量流量計(jì)大放異彩的舞臺(tái)。在半導(dǎo)體超聲波噴涂設(shè)備中,層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)被戰(zhàn)略性地安裝在霧化噴頭前的供液管路上,如同為工藝裝上了“智能流量閥門(mén)”:“穩(wěn)”字當(dāng)頭,厚...
6-30
在現(xiàn)代工業(yè)的精細(xì)脈絡(luò)中,壓縮空氣系統(tǒng)、生物制藥發(fā)酵罐、半導(dǎo)體特氣輸送、分布式能源站等關(guān)鍵場(chǎng)景,對(duì)流體測(cè)量提出了一個(gè)看似矛盾卻至關(guān)重要的要求:在精確掌控質(zhì)量流量的同時(shí),必須將流體通過(guò)流量計(jì)產(chǎn)生的壓力損失(壓損)降低。過(guò)高的壓損不僅直接消耗寶貴的泵送能量,更可能干擾精密工藝流程的穩(wěn)定性,甚至縮短設(shè)備壽命。此時(shí),基于層流壓差測(cè)量原理的質(zhì)量流量計(jì)(MFM)憑借其天生的低壓損特性脫穎而出,成為這些敏感工況中的理想選擇。低壓損需求:能耗與工藝痛點(diǎn)能耗敏感系統(tǒng):在大型壓縮空氣管網(wǎng)或中央空調(diào)...
6-26
在守護(hù)工業(yè)安全的氣體報(bào)警儀中,泵吸功能如同警覺(jué)的呼吸系統(tǒng),持續(xù)將可疑氣體樣本吸入核心檢測(cè)單元。這一過(guò)程中,流量的精確測(cè)量如同精準(zhǔn)的脈搏監(jiān)控——流量過(guò)大,稀釋待測(cè)氣體,可能錯(cuò)過(guò)危險(xiǎn)信號(hào);流量過(guò)小,則延長(zhǎng)響應(yīng)時(shí)間,遲滯預(yù)警。此時(shí),基于層流壓差原理的質(zhì)量流量計(jì)(MFM)憑借其性能優(yōu)勢(shì),成為氣體報(bào)警儀中流量控制的“哨兵”。傳統(tǒng)體積流量測(cè)量常因氣體溫度、壓力變化而“失準(zhǔn)”,猶如在顛簸風(fēng)浪中測(cè)量水流。層流壓差式MFM的核心突破在于其內(nèi)置的精密層流元件——它如同一條極度規(guī)整的“分子高速路”...
6-25
氣體質(zhì)量流量計(jì)作為工業(yè)生產(chǎn)中測(cè)量氣體流量的核心設(shè)備,其精度和穩(wěn)定性直接影響產(chǎn)品質(zhì)量、工藝控制及能源效率。為確保設(shè)備長(zhǎng)期可靠運(yùn)行,需從日常維護(hù)、定期校準(zhǔn)、故障預(yù)防等方面制定系統(tǒng)性措施。以下為具體策略:一、日常維護(hù):降低故障率的基礎(chǔ)保障傳感器清潔與防護(hù)清潔周期:每3-6個(gè)月清潔一次傳感器表面(視環(huán)境粉塵量調(diào)整)。操作方法:使用干燥壓縮空氣或軟毛刷清除積塵,避免使用化學(xué)溶劑或尖銳工具(如螺絲刀)刮擦傳感器,防止損傷敏感元件。防護(hù)措施:在粉塵、油霧嚴(yán)重的環(huán)境中,加裝防護(hù)濾網(wǎng)或預(yù)過(guò)濾裝...
6-25
在半導(dǎo)體制造車(chē)間里,一臺(tái)臺(tái)精密設(shè)備正在安靜運(yùn)行。晶圓表面刻蝕過(guò)程中,氣體流量控制的精度直接決定了芯片的良品率。長(zhǎng)期以來(lái),這一關(guān)鍵環(huán)節(jié)的質(zhì)量流量控制器(MFC)幾乎依賴(lài)進(jìn)口,成為我國(guó)制造業(yè)的“卡脖子”難題。隨著中美科技競(jìng)爭(zhēng)加劇,半導(dǎo)體、新能源、生物醫(yī)藥等戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)對(duì)核心零部件的自主可控需求日益迫切。以陜西易度智能為代表的中國(guó)科技企業(yè)通過(guò)十年磨一劍的技術(shù)攻堅(jiān),在層流壓差式MFC領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破。國(guó)產(chǎn)替代的緊迫現(xiàn)狀質(zhì)量流量控制器(MFC)作為精密測(cè)控流體的核心部件,在半導(dǎo)體制造、新能...
6-24
質(zhì)量流量控制器在新材料研發(fā)與生產(chǎn)領(lǐng)域,鍍膜、涂層技術(shù)扮演著至關(guān)重要的角色。無(wú)論是賦予材料硬度、耐腐蝕性,還是實(shí)現(xiàn)精密光學(xué)性能、特定電學(xué)特性,其核心工藝——如物理氣相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)、原子層沉積(ALD)、等離子噴涂等——都極度依賴(lài)對(duì)參與反應(yīng)或載運(yùn)氣體的精確、穩(wěn)定、可重復(fù)的流量控制。質(zhì)量流量控制器(MFC)正是保障這一控制精度的核心傳感器與執(zhí)行單元。而在眾多MFC技術(shù)路線中,基于層流壓差測(cè)量原理的MFC,憑借其優(yōu)勢(shì),成為應(yīng)對(duì)新材料嚴(yán)苛工況的理想解決方案。直...
6-23
在現(xiàn)代工業(yè)的精密脈絡(luò)中——從半導(dǎo)體芯片的納米級(jí)蝕刻到生物制藥的純凈反應(yīng),再到實(shí)驗(yàn)室探索的微觀世界——精確控制氣體或液體的質(zhì)量流量如同精準(zhǔn)的脈搏,直接關(guān)乎工藝成敗與產(chǎn)品質(zhì)量。實(shí)現(xiàn)這一精準(zhǔn)控制的核心器件,便是質(zhì)量流量控制器(MFC)。它如同一位無(wú)形的“流量指揮家”,實(shí)時(shí)感知流體流過(guò)的大小,并迅速調(diào)整閥門(mén)開(kāi)度,確保實(shí)際流量毫厘不差地跟隨設(shè)定值。在眾多測(cè)量原理中,層流壓差式與熱式是應(yīng)用最為廣泛的兩大技術(shù)路線,它們各具特色,而層流壓差式在多個(gè)關(guān)鍵維度展現(xiàn)出顯著優(yōu)勢(shì)。原理探微:兩條不同的...
6-20
在精密氣體流量控制領(lǐng)域,層流壓差式質(zhì)量流量控制器(MFC)以其工作原理和性能,成為眾多工況應(yīng)用的選擇。其核心優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:穩(wěn)定可靠,精度高:層流壓差式MFC的核心在于其內(nèi)部的層流元件。當(dāng)氣體流過(guò)該元件時(shí),被強(qiáng)制形成穩(wěn)定、有序的層流狀態(tài),消除了湍流帶來(lái)的隨機(jī)干擾。此時(shí),氣體流經(jīng)元件產(chǎn)生的壓差與氣體的質(zhì)量流量直接呈現(xiàn)高度線性、可重復(fù)的關(guān)系。這種物理特性是穩(wěn)定測(cè)量的基石,結(jié)合精密的壓差傳感器和溫度補(bǔ)償技術(shù),使其能夠?qū)崿F(xiàn)超高的測(cè)量和控制精度(通常在±1%FS或...